三氯氫硅是由工業(yè)硅和氯化氫合成的，具體的生產(chǎn)方法我們一起看一下。
包括以工業(yè)硅和氯化氫為原料，反應生成三氯氫硅，所述三氯氫硅經(jīng)提純后，送入還原爐與氫氣反應，還原生成多晶硅，并收集尾氣，其中所述尾氣主要包括氫氣、氯化氫、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅，所述改進(jìn)的多晶硅生產(chǎn)方法還包括對所述尾氣中的氯化氫進(jìn)行回收循環(huán)利用的步驟，并將回收的氯化氫投入到多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中與工業(yè)硅反應生成三氯氫硅。本發(fā)明采用干法處理將尾氣中的氯化氫回收，并可再用于多晶硅生產(chǎn)中，原料得以充分的利用，減少了污染物，解決了環(huán)境污染問(wèn)題，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，降低了成本。
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